干预式同轴 3D 位移检测的仪
WI-5000 系
估测头 WI-004
规格
款式 | WI-004*1*2*3 | |||
可以参考时间 | 18 mm | |||
在测量面积 | Z | 1.4 mm(规格方法,),0.7 mm(高方法,) | ||
XY | 4 × 4 mm | |||
是较为小的论文检测空间 | 15 × 15 µm | |||
从复计算精度(段差) | 0.1 µm*4 | |||
直曲线(段差) | ±2.8 µm(±0.2% of F.S.,F.S.=1.4 mm,+20 至+30℃)*5 | |||
校正用面光源 | 方式 | 红外线SLD | ||
中心局主波长 | 830 nm | |||
激光机器归类(IEC60825-1, GB7247.1) | 3R 类 | |||
转换 | 3.6 mW | |||
干预用led灯光 | 多种类型 | 鲜红色半导体芯片缴光 | ||
主波长 | 660 nm | |||
激光器细分(IEC60825-1, GB7247.1) | 1 类 | |||
的输出 | 0.15 mW | |||
采样系统寿命 | 里面的引发 | 133 ms(快速路状态),266 ms(标准单位状态) | ||
表面解锁 | 最快 266 ms(高速模式),最快 532 ms(标准模式)*6 | |||
自然环境抗适应力 | 坏境采光 | 节能灯管/荧光灯:5,000 lux 下列 | ||
氛围平均温度 | 0 至 +35 °C | |||
相比内部含水率 | 20 至 85 % RH (无结晶) | |||
容量 | 约 3000 g | |||
*1 FDA (CDRH) 的激光分类是基于 IEC60825-1 并根据 Laser Notice No.50 的要求而实施的。高度(从测量头的基准面到测量工件的距离)的分辨率为 1µm(*2)。 |