模样检测的激光手术显微系统
VK-X 系类
练习我国: 4008-215-686 提出的意见表
在测量部 VK-X130K
规格
形号 | VK-X130K | |||
网络综合功率 | 19200 倍以下*1 | |||
视角 (很小考察区间) | 16 µm 至 5400 µm | |||
帧工作频率 | 皮秒激光预估线速度 | 4 至120 Hz、7,900 Hz*2 | ||
量测目的 | 磁学装置 | 针孔共集聚光纤激光切割机的模式 | ||
光接受到组件 | 光电公司净增器、16 bit 感应开关 | |||
复印机扫描途径 (常规化测试时及形象链接时) | 电脑自动上下两边限设计的功效 飞速光量适宜化的功效(AAG Ⅱ)反射面光量严重不足补点的功效(双复印机扫描) | |||
位置检测 | 体现辨别率 | 5 nm | ||
线形表尺 | ||||
最新示值 (来源工件产品的光接收到量的适宜上升时间) | 16 bit | |||
再次精密度较σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
Z轴估测用4g内存 | 140 万操作步骤 | |||
最可信性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
Z 载物台构造 | 的结构 | 估测头破乳结构的 | ||
很大合格品长度 | 28 mm, 128 mm (可供选择件) | |||
:宽度校正 | 显示信息分别率 | 10 nm | ||
重叠可靠性强,精密度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
更准性 | ±2%*5 | |||
XY 载物台结构类型 | 全自动 进行范畴 | 70 mm×70 mm | ||
电动伸缩 运动范围之内 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
通过观察 | 考察图像文件 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
较大拍摄视频浅析率 | 3072×2304 | |||
检测用智能机械led灯光 | 光谱 | 橘红色半导体材料激光机器 658 nm | ||
主要输出电压 | 0.95 mW | |||
脉冲激光产品的 | 2 类激光机器服务 (GB7247.1) | |||
重量体积 | 在线测量部 | 约25 kg(分离出来时衡量头竞聚率: 约8.5 kg) | ||
调节器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 |