样式形态测试智能机械显微系统性
VK-X 系例
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精确测量部 VK-X160K
规格
型号规格 | VK-X160K | |||
基础性倍数 | 19200 倍以下*1 | |||
眼界 (轻柔的探究比率) | 16 µm 至 5400 µm | |||
帧频段 | 皮秒激光在测量快慢 | 4 至120 Hz、7,900 Hz*2 | ||
量测操作过程 | 光学仪器系统化 | 针孔共瞄准光纤激光切割机的系統 | ||
光推送部件 | 光电公司增倍器、16 bit 感应灯 | |||
扫苗方试 (规范检测的时及画面接触时) | 自动化上上下下限設置性能 快速路光量较好化性能(AAG Ⅱ)反射面光量缺陷补充维生素性能(双扫描软件) | |||
层面在测量 | 现示分别率 | 5 nm | ||
规则化表尺 | ||||
动态化分度值 (发源工件产品的光读取量的适宜高难度技巧) | 16 bit | |||
重覆控制精度σ | 20 倍 40 nm、50 倍 20 nm、100 倍 20 nm*3 | |||
Z轴測量用手机内存 | 140 万步数 | |||
准确度性 | 0.2 + L/100 µm 或更小 (L = 测量长度)*4 | |||
Z 载物台构成 | 空间结构 | 预估头拆分设计 | ||
最高打样定制极度 | 28 mm, 128 mm (可以选择件) | |||
参数测定 | 现示辨别好坏率 | 10 nm | ||
相同gps精度3σ | 20 倍 100 nm、50 倍 50 nm、100 倍 30 nm*3 | |||
更准性 | ±2%*5 | |||
XY 载物台构成 | 清理 程序运行范围图 | 70 mm×70 mm | ||
电动四轮 运转规模 | 50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*6 | |||
观看 | 观察分析图文 | 超高精细彩色CCD 图像 | ||
比较大影视拍摄数据分析率 | 3072×2304 | |||
在测量用二氧化碳激光黑与白 | 可见光波长 | 粉红色半导体行业脉冲激光 658 nm | ||
最明显工作输出 | 0.95 mW | |||
激光行业车辆 | 2 类激光行业食品 (GB7247.1) | |||
质量 | 测量方法部 | 约25 kg(转移时自动测量头一人: 约8.5 kg) | ||
控住器部 | 约 11 kg | |||
*1 23 英寸显示器记载。 |