旋涂机
旋涂机概要
“旋涂机”都是种采用翻转离精力力的刷抹纸器，也被被称作“翻转刷抹纸机”。相对于线性的被涂物（镗孔），可能达成薄且匀的铝层。旋涂机的功能是非常大量，表达性功能还有半导体行业晶圆的面上办理、光阻刷抹纸等流量类制作工艺，或是光学反应互联网媒体涂膜、鏡头底剂及调光液的刷抹纸等。- 旋涂机涂布
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- A. 旋转体
- B. 被涂物表面
- C. 涂液
将涂液滴落在被涂物（工件）的中心，进行高速旋转。加速旋转会对涂液施加离心力，使涂液扩散到整个表面并成膜。涂布膜厚取决于涂液的粘度、被涂物的转速、旋转启动加速度、与干燥速度相关的排气。
旋涂的原理是依靠旋转离心力将多余的涂液甩离被涂𓆏物，因此实际成膜的液量要少于滴落的液量，存在会导致材料损耗的⛦缺点。
为了通过排气控制干燥速度，防止涂液飞溅到设备外部，避免异物混入，旋转体及滴落的机构通常都会被收纳在箱体中，或采用涂裱时关闭上盖的设计式样。
设备的基本原理在近几十年并未改变，但适用于被涂物不同尺寸、重量、材质的装置，转速（速度）控制、自动滴落之类的规格功能等，都实𝄹现了更加多样化的发展。
