非沾染式
非相处式是以光照带换相处式触针。比如共焦方试和洁白干涉现象方试等许多其他原因的方试。除外，有着 仅将相处式检侧器转为光感测器器型或电子显微镜结构类型等许多特性。在这样的，以基恩士的款式精确测量脉冲激光显微体系VK-X 类型举例，对共焦方试开展说明书。 样式形态量测脉冲离子束显微设备是应用共焦原理图，对个人受众物表面上凸凹不平通过量测的电子显微镜。便用脉冲离子束灯源。设备分为如右图图甲中，将个人受众物放在在量测部的XY 载物面板通过量测。
形状测量激光显微系统的测量原理
- (1) 从激光光源发出的激光会扫描目标物表面。
- (2) 从目标物表面反射的激光会通过半反射镜，进入光接收元件。此时，将存储入光反射的光量和镜头的高度位置。激光显微镜所获取的数据数为X 方向1024 个数据，Y 方向768 个数据，并存储1024 × 768 ＝ 786432 点各个点的反射光量和镜头的高度位置。
- (3) 完成一个面的扫描后，接物透镜将以指定的间距向Z 方向移动。
- (4) 在移动的面上进行相同的面扫描，以1024 × 768 的点检查激光的反射光量。将各自像素的反射光量与v 存储的反射光量进行比较，如果数值较高，可改写反射光量的数据和镜头的高度位置数据。
- (5) 依照指定的Z 距离，反复进行(2) 至(4) 的动作。
- (6) 在最终1024 × 768 的各像素中，将会存储各自像素中激光反射最强时的反射光量和镜头的高度位置。
- (7) 光学式显微镜对焦于目标物的WD（工作距离：接物透镜与目标物之间的距离）是固定的。如果将反射光量最大时视为对焦（焦点），只要将对焦（焦点）时（即反射光量最大时）的镜头高度位置连接对准，即可获取显微镜观测范围（1024 × 768 像素）的3D 数据。
形状测量激光显微系统的测量精度
进行“对焦（视角）时漫被射线的光量主要”这共出焦原理图的显微镜关察测定gps精度，会深受合理识别漫被射线的光量阀值的特性的较 大关系。分为共焦光电器件薄膜体统的途径有多。之下介绍基恩士的图行测定机光显微体统所采用了的“针孔共集焦途径”。针孔共集焦途径是在光发送部件的上边制定了针孔。针孔的网套直径仅为数10μm，其整体的是在不符焦时打断漫被射线的光。如图所示的“对焦时”，大多数的光电器件薄膜体统和机光共视角光电器件薄膜体统的漫被射线的光均会加入光发送部件。关察“未对焦时”，大多数光电器件薄膜体统的漫被射线的光（视角很糊光束问题）会加入光发送部件，但机光共视角光电器件薄膜体统的漫被射线的光（视角很糊光束问题）则会被针孔打断。即就在对焦时漫被射线的光才会加入光发送部件，仅以为依照分为共焦光电器件薄膜体统。
激光的XY 方向分辨率
非接触式的光点相当于接触式的触针。由于非接触式与接触式不同，不会直接接触目标物，因此不会有触针磨损或目标物损伤的缺点。但是，为了正确测量目标物的形状，光点直径的大小非常重要。光点直径越大，越只能获取比实际形状更加平滑的数据。
由于激光显微镜使用激光光源，因此可形成非ꩲ常细微的光点。使用×150（N.A. ＝ 0.95）的接物透𓃲镜
