原子力显微镜

原子力显微镜

原子核力光学显微镜（AFM）

Atomic force microscope (AFM)

原子力显微镜是将在微小扁簧的顶端装有尖细探针的悬臂靠近样本表面直至距离为数nm 的地方，通过探针顶端的原子与样本原子之间产生的原子力测量样本的凹凸情况。原子力显微镜为使原子力稳定（悬臂挠度稳定），向压电式扫描仪发送反馈并进行扫描。
ꦚ 测量压电式扫描仪接收到的位移量，可获取Z 轴位移，也就是表面结构。

在线测量电容式式扫描机扫描机位移量的策略普通主要包括电子光学定位方试，即向悬臂上面灯照激光机器，可以通过将光被反射的光分给4份（或2份）的光电产品电子元器件大家庭中的一员-二极管来检则。

优点	缺点
- 分辨率（可分辨出2点的最小距离）高。 - 可以进行超高倍率的三维测量。也可以进行数据后加工处理。 - 可在大气中进行观测，无需预处理样本。 - 能分析物理性能（电性能、磁性能、摩擦/粘弹性等）。	- 不能测量低倍率（广范围）或凹凸较大（高低差在数μm以上）的样本。 - 很难定位。要从大视野缩小至狭小区域，每件样本所需的解析时间较长。 - 不能测量大型样本。（需要预处理或加工） - 较难操作，要能够熟练更换悬臂等。

测量范围狭小

AFM 是可在精确測量极很小区域图的3d款式的缩放监测医疗仪器。与SEM的不同，能够参数值形态得到高强度动态数据报告，之所以能够通过样例明确或动态数据报告后加工生产加工操作步骤。还可在似的环镜中立即在精确測量，不在样例预加工操作步骤和导电性等的限止。但正犹豫有高分数辨率，反尔会遭遇在精确測量区域图（XYZ）较梗塞的限止。除此之外，针对于正確将检测器市场定位到在精确測量位址、将悬臂连接到指市场定位址等重要性操作步骤都必须驾轻就熟知道。

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原子核力光学显微镜（AFM）

测量范围狭小