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接触式表面粗糙度、形状测量仪

接受式界面粗燥度和形态侧量检测仪器

触针的顶端直接接触到样本表面的方式。
💮 触针安装在检测器的顶端,对样本表面进行追踪,发生上下运动以供电子检测。电子信号经过放大和数字转换处理后被记录。

要利用接触式表面粗糙度测量计精确测量细微的形状和粗糙度,接触压力要小,触针顶端的半径也必须尽可能小。
 🥂 触针是用蓝宝石或钻石制成,顶端半径通常小于10 μm。触针的理想形状是顶端为球形的圆锥体。

顶端半径: rtip = 2 μm、5 μm、10 μm
 ♑ 圆锥角: 6🍌0°、90°

* 必须另有规范,一般来说測量仪器设备自然的圆锥形角为60°。
优点 缺点
  • - 清晰的波形轮廓
  • - 能够进行长距离测量
  • - 触针的磨损
  • - 测量压力会引起样本表面的划伤
  • - 不能测量有粘性的样本
  • - 无法测量小于触针顶端半径的凹槽
  • - 测量需要较长时间
  • - 定位和辨认细微测量位置有困难
  • - 检测器的追踪需要切割和处理样本

接触式表面粗糙度测量计在测量过程中能够直接接触到样本,可靠性高。
然而,直接接触同样引发了以上概括的缺点。
♔ 以下介绍需特别注意的要点。

触针的磨损

触针必须经过抛光,因为他会随着时间而磨损。磨损的方式有所不同,视材料和测量目标对象的形状而定,触针会被磨平或磨圆。不同的触针形状就会产生不同的波形轮廓。
🌌  测定触针磨损的一种方法就是使用市售的磨损检验测试件。藉由比较触针磨损前后的测试件数据轮廓(凹槽宽度等)可以测定磨损情况。


测量压力导致样本上留下的印记

如前所诉,触针由蓝原石或砖戒做成,只是食用这类硬性建筑材料的的部分但是会刮损关键喜欢的人外面。十分是重复使用抛物线调控时,触针很简易在快速的加料的期间中刮损样版。

小于触针顶端半径的凹槽无法测量

触针的上端是球体的。只要缝隙横向(的划伤等)不大于触针上端的圆弧,触针上端就無法正确性监视外观。



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